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直流脉冲叠加偏压电源
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商品详情

特点
直流叠加单极性正向脉冲偏压电源,实际上将直流偏压电源与单极性正向脉冲偏压电源串联,进行有机的结合,作用是通过调节直流输出电压和脉冲电压实现直流、单极脉冲和直流叠加脉冲三种偏压模式。配合脉冲频率和占空比调节,可控制成膜温度,增加膜基结合力,提高沉积速率。本电源特别适用于低温速沉积和高品质镀膜系统。由其是在镀制非导电介质膜时,采用高频直流叠加脉冲电源可替代传统的射频电源,是非常有发展前途工艺途径。
技术指标:
1.      交流输入:三相380VAC
2.      功率因数:≥0.99
3.      效    率:≥86%
4.      输出波形:直流、单极性正向脉冲、直流叠加脉冲
5.      输出电流:0~320A  分10种规格:1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、          
70KW、100KW、200KW
6.      输出电压:直流0~1200V,脉冲0~1200V
7.      输出频率:1KHz~200KHz
8.      脉冲占空比:5~90%独立连续可调
9.      工作方式:恒流、恒压、恒功率任选
10.  稳压精度:≤1%
11.  环境温度:-10℃~40℃
12.  冷却方式:风冷、水冷

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